- Артикул:00542959
- Автор: Белов И.А., Шеленшкевич В.А., Шуб Л.И.
- Издательство: Политехника (все книги издательства)
- Город: Ленинград
- Год: 1991
Развернуть ▼
Товар высылается по электронной почте в электронном виде!!!
В монографин впервые в отечественной и зарубежной литературе применен аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. Рассмотрены задачи гидромеханики, тепло- и массооб-мена жидкостей применительно к технологическим операциям изготовления приборов и схем микроэлектроники. Описаны методы расчета как ламинарного, так и турбулентного режимов течения и теплообмена для одно- и двухфазных потопов в смесительных камерах, подводящих и отводящих трактах, реакторах при различных вариантах расположения пластин. Приведено описание численных процедур решения исходных уравнений, записанных в форме Навье—Стокса или Рейнольдса. Значительное внимание уделено результатам численного решения, полученным с помощью метода контрольного объема.
Оглавление
Предисловие
Глава 1. Проблемы гидродинамики в технологическом процессе изготовления полупроводниковых приборов я микросхем
1.1. Основные задачи технологии микроэлектроники
1.2. Технологические циклы изготовления полупроводниковых приборов и микросхем. Обзор новых технологических решений
1.3. Зависимость свойств диэлектрических, диффузионных и поликристаллических слоев от параметров газового потока
1.4. Конструктивно-технологические способы получения равномерных газовых потоков н температуры по сечению реактора
Глада 2. Математическое описание гидродинамики и теплообмена при ламинарной н турбулентном режимах течения несжимаемой жидкости
2.1. Основная система уравнений
2.2. Модель турбулентности
2.3. Исходная система уравнений в естественных переменных
2.4. Система уравнений в преобразованных переменных
2.5. Уравнения параболического типа
Глава 3. Математическое описание процессов гидродинамики ш теплообмена в двухфазных средах
3.1. Особенности математического моделирования газодисперсных течений
3.2. Процессы переноса при взаимодействии частицы с несущим потоком
3.3. Уравнения движения газовзвеси
Глава 4. Конечно-разностная аппроксимация я решение исходных дифференциальных уравнений
4.1. Построение расчетной сетки
4.2. Конструирование разностных схем
4.3. Многомерные разностные уравнения и методы их решения
4.4. Граничные условия
4.5. Описание вычислительных алгоритмов
Глава 5. Расчет гидродинамических процессов формирования рабочей среды
5.1. Газы и диффузанты. Формирование газового потока в реакторе
5.2. Гидродинамические параметры Т-образного смесителя
5.3. Течение и массоперенос в смесителях внутреннего типа
5.4. Гидродинамические параметры смесителя с подачей газоносителя через перфорированную стенку реактора
5.5. Смеситель на основе сверхзвукового сопла
Глава 6. Расчет гидродинамических в массообменных процессов реакторе с пластинами для нанесения покрытия
6.1. Течение и нагрев газа в круглой реакторной трубе.
6.2. Течение и массоперенос в круглом реакторе с пластинами-дисками, установленными соосно и перпендикуляр во к потоку
6.3. Течение и массоперенос в круглом реакторе с пластинами-дисками, вращающимися около оси
6.4. Обтекание бесконечного ряда дисков в реакторе при вдуве газа с боковой поверхности
6.5. Турбулентное течение в реакторе с бесконечным рядом пластин (дисков)
6.6. Прямоугольный реактор с лабиринтным расположением пластин
6.7. Об учете деформации пластин при турбулентном режиме течения в диффузионном реакторе
Список литературы
Рекомендуем
Артикул 00542114
