- Артикул:00-01109386
- Автор: О. Т. Лебедев
- Тираж: 6480 экз.
- Обложка: Твердая обложка
- Издательство: Издательство Ленинградского университета (все книги издательства)
- Город: Ленинград
- Страниц: 272
- Формат: 60х90 1/16
- Год: 1974
- Вес: 416 г
Развернуть ▼
Репринтное издание
В монографии рассматриваются основы и перспективы микроминиатюризации, технологические процессы производства интегральных схем и их элементная база, логические интегральные схемы, методы проектирования интегральных схем с помощью ЭЦВМ. Изложен материал, связанный с разработкой и применением больших интегральных схем, надежностью и экономикой интегральных схем.
Монография рассчитана на профессорско-преподавательский состав высших учебных заведений, аспирантов, студентов технических вузов и разработчиков новых типов радиоэлектронной аппаратуры.
Содержание
Предисловие
Глава1.Основы и перспективы микроминиатюризации радиоэлектронной аппаратуры
Глава 2.Технологические процессы производства интегральных схем (ИС)
§ 2.1.Полупроводниковые материалы для производства ИС
§ 2.2.Обработка поверхностей полупроводниковых материалов
§ 2.3.Окисные и нитридные пленки в ИС
§ 2.4.Диффузия в производстве ИС
§ 2.5.Эпитаксиальные процессы
§ 2.6.Получение и применение тонких пленок
§ 2.7.Контроль процесса нанесения тонких пленок
§ 2.8.Фото- и электронолитография
Глава 3.Элементная база ИС
§ 3.1.Приборы монолитных биполярных ИС
§ 3.2.Полевые транзисторы (ПТ) с /p-n-переходом
§ 3.3.ПТ с изолированным затвором (МОП-транзисторы)
§ 3.4.Применение ПТ в ИС
§ 3.5.Туннельные диоды
§ 3.6.Приборы на основе диода Ганна
§ 3.7.Приборы с зарядовой связью
§ 3.8.Большие интегральные схемы (БИС)
§ 3.9.БИС на основе формализованных нейронных сетей
§ 3.10.Оптрон как основной структурный элемент оптоэлектроники
§ 3.11.Оптоэлектронные схемы
§ 3.12.Проблемы корпусов и теплоотвода в ИС
Глава 4.Интегральные логические схемы (ИЛС)
§ 4.1.Основные логические функции и характеристики ИЛС
§ 4.2.Классификация и основные типы ИЛС
§ 4.3.Типовые устройства цифровых вычислительных машин на ИЛС
§ 4.4.Системы ИЛС
Глава 5.Вопросы проектирования и контроля ИС
§ 5.1.Предельные параметры ИС, связанные с частотными ограничениями
§ 5.2.Определение конструктивно-технологических характеристик приборов ИС
§ 5.3.Физические и технологические ограничения предельных параметров ИС
§ 5.4.Проектирование ИС при помощи ЦВМ
§ 5.5.Методы контроля параметров ИС
§ 5.6.Математические основы теории надежности ИС
§ 5.7.Экономика производства ИС
Указатель литературы
Рекомендуем
