- Артикул:00-01056324
- Автор: Б.Н. Васичев
- Тираж: 3200 экз.
- Обложка: Мягкая обложка
- Издательство: Металлургия (все книги издательства)
- Город: Москва
- Страниц: 240
- Формат: 84х108 1/32
- Год: 1977
- Вес: 300 г
Развернуть ▼
Рассмотрена методика локального микроанализа элементного состава тонких объектов (пленок) и идентификации микрофаз вещества по характеристическим рентгеновским спектрам. Этот метод позволяет проводить комплексное изучение электронно-микроскопических объектов и в настоящее время выделился в самостоятельное направление - электронно-зондовый микроанализ тонких пленок. Область применения метода весьма широка и разнообразна: это металлургия, полупроводниковая электроника, минералогия, биология и т. д. Рассмотрена аппаратура, применяемая для микроанализа тонких пленок, и даны рекомендации по технологии приготовления объектов.
Книга рассчитана на инженерно-технических работников - физиков и металловедов, занимающихся исследованием тонких пленок, микроструктуры тонких слоев и микрочастиц вещества. Может быть полезна студентам соответствующих вузов.
Содержание
Предисловие
Введение
Глава I. Локальные методы исследования твердых тел
1. Некоторые методы локального определения химического состава вещества
2. Метод локального рентгеноспектрального исследования тонких объектов
3. Состояние и развитие методов анализа тонких пленок с помощью электронного зонда
Глава II. Физические основы локального анализа тонких пленок
1. Взаимодействие остросфокусированного электронного зонда с материалом объекта
2. Максимальный ток электронного зонда
3. Локальность и прицельность анализа тонких пленок
4. Регистрация и расшифровка эмиссионных рентгеновских спектров малой интенсивности
5. Выбор оптимальных условий возбуждения и регистрации рентгеновского излучения
6. Ошибки измерения интенсивности рентгеновского излучения, их классификация и способы оценок
7. Методики количественного анализа тонких пленок по эмиссионным рентгеновским спектрам
8. Чувствительность анализа тонких пленок
9. Экспериментальные результаты определения предельной чувствительности рентгеноспектрального микроанализа следов вещества
Глава III. Экспериментальные методы и аппаратура для исследования микроструктур и определения следов вещества в тонких пленках
1. Электронные микроскопы-микроанализаторы с электронным зондом диаметром 1 - 2 мкм (первая группа, неспециализированные приборы)
2. Приборы ЭММА с электронным зондом 0,1 - 0,3 мкм (вторая группа, специализированные приборы)
3. Высоколокальный прибор ЭММА-В для рентгеноспектральных исследований диаметром зонда менее 0,4 мкм (третья группа)
4. Просвечивающие растровые электронные микроскопы-микроанализаторы (четвертая группа)
5. Рентгеновские кристалл-дифракционные спектрометры приборов ЭММА (спектрометры волновой дисперсии)
6. Спектрометры энергетической дисперсии
7. Мониторы «массовой толщины» тонких объектов
8. Морфометрия тонких пленок
9. Локальный электронно-спектральный микроанализ тонких пленок
Глава IV. Приготовление тонких пленок (объектов) и примеры; их анализа
1. Влияние процесса приготовления объектов на точность анализа
2. Способы нанесения частиц на пленку-подложку
3. Способ получения реплик с извлечением
4. Механические способы изготовления тонких объектов
5. Получение тонких пленок ионным травлением
6. Получение тонких пленок методом химической и электролитической полировки
7. Примеры локального анализа тонких объектов
Список литературы
Рекомендуем
Артикул 00204639
