+7(800)707-21-74
Бесплатно по России

Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем

В наличии Цена за шт.

390

Количество
Купить

Поделиться


  • Артикул:00-01029698
  • Автор: О.К. Мокеев, А.С. Романов
  • Обложка: Твердая обложка
  • Издательство: Высшая школа (все книги издательства)
  • Город: Москва
  • Страниц: 272
  • Формат: 84x108/32
  • Год: 1979
Развернуть ▼

Репринтное издание ?

Репринтное издание представляет собой издание, которое было выпущено после сканирования страниц какой – либо книги, рукописи или иных выбранных для репринта изданий, без изменения текста. Однако стоит учитывать то, что особенности бумаги, переплета, наличие дефектов, исправлений или опечаток может отличаться от оригинала.


Репринтная книга состоит из качественных копий оригинального ценного экземпляра, что позволяет читателю насладиться старинным особенным шрифтом, а так же особой полиграфией, которая свойственна для времени, когда был выпущен в свет оригинал книги.


Репринтное издание не имеет характерного запаха старых книг, не содержит спор грибков и бактерий, пыли, старые нити не рвутся, бумага не рассыпается.


В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки технологических операций и оборудования.

Содержание
Введение
Глава первая. Химические материалы. Основы процессов химической обработки полупроводников
§ 1. Вода
§ 2. Органические растворители
§ 3. Поверхностно-активные вещества и эмульсии
§ 4. Основные сведения о химических реакциях
§ 5. Гетерогенные реакции
§ 6. Состояние и свойства поверхности полупроводников
§ 7. Методы очистки поверхности полупроводников
§ 8. Механизм загрязнения поверхности полупроводников
§ 9. Адсорбция газов и парой воды
§ 10. Адсорбция металлических примесей из промывочных растворов и травителей
§ 11. Десорбция адсорбированных примесей с поверхности германия и кремния
§ 12. Основы электрохимического формирования диэлектрических и проводящих пленок
§ 13. Электрохимическое осаждение проводящих пленок
§ 14. Химическое осаждение проводящих пленок
§ 15. Технология осаждения металлических пленок химическим восстановлением ионов металлов
§ 16. Химическое и электрохимическое окисление
§ 17. Основы химического и электрохимического травления поверхности полупроводников
§ 18. Химическое травление полупроводников
§ 19. Электрохимическое травление полупроводников
§ 20. Струйное электрохимическое травление полупроводников
Глава вторая. Методы химической и электролитической отмывки полупроводников
§ 21. Отмывка в растворителях
§ 22. Отмывка в кислотах и щелочах
§ 23. Отмывка водой
§ 24. Отмывка в ультразвуковых ваннах
§ 25. Отмывка в водных растворах поверхностно-активных веществ
§ 26. Электролитическая отмывка
§ 27. Метод иодидной обработки кремниевых пластин
§ 28. Методы определения чистоты поверхности
Глава третья. Технология химического и электрохимического травления
§ 29. Технология химического травления
§ 30. Способы химического травления
§ 31. Химическое травление германия
§ 32. Химическое травление кремния
§ 33. Электрохимическое травление германия и кремния
§ 34. Выявление дефектов кристаллической структуры
§ 35. Определение кристаллографической ориентации полупроводников
Глава четвертая. Химическая обработка в технологическом цикле изготовления полупроводниковых приборов и микросхем
§ 36. Назначение процессов химической обработки
§ 37. Детали и оснастка
§ 38. Очистка металлических деталей
§ 39. Очистка стеклянных и кварцевых изделий
§ 40. Химическая обработка полупроводниковых пластин после механической обработки
§ 41. Отмывка полупроводниковых пластин перед эпитаксией
§ 42. Отмывка полупроводниковых пластин перед первым термическим окислением
§ 43. Химическая обработка полупроводниковых пластин на операциях диффузии
§ 44. Химическая обработка в пленочной технологии
§ 45. Защита поверхности полупроводниковых структур
§ 46. Методы защиты поверхности полупроводниковых пластин и кристаллов
§ 47. Герметизация полупроводниковых приборов и микросхем
Глава пятая. Фотолитография
§ 48. Основные этапы процесса фотолитографии
§ 49. Фоторезисты
§ 50. Подготовка поверхности подложек
§ 51. Формирование слоев фоторезиста
§ 52. Совмещение фотошаблона с подложкой и экспонирование
§ 53. Формирование рельефа в слое фоторезиста
§ 54. Формирование рельефа в диэлектрических и металлических тонкопленочных покрытиях
§ 55. Удаление фоторезиста
§ 56. Виды дефектов фотолитографии
§ 57. Перспективные методы фотолитографии
Глава шестая. Изготовление фотошаблонов
§ 58. Назначение фотошаблонов и предъявляемые к ним требования
§ 59. Методы изготовления фотошаблонов
§ 60. Изготовление оригиналов фотошаблонов
§ 61. Изготовление промежуточных фотошаблонов
§ 62. Изготовление эталонных фотошаблонов
§ 63. Изготовление рабочих фотошаблонов
§ 64. Погрешности рабочих фотошаблонов


Оставьте отзыв о товаре
Рекомендуем
×

Журналы и бланки

БухгалтерияОхрана труда и техника безопасностиМЧСКадровая работа: Журналы, бланки, формыЖурналы, бланки, формы документов для органов прокуратуры и суда, минюста, пенитенциарной системыЖурналы, бланки, формы документов МВД РФКонструкторская, научно-техническая документацияЛесное хозяйствоПромышленностьГостиницы, общежития, хостелыСвязьЖурналы и бланки по экологииЖурналы и бланки, используемые в торговле, бытовом обслуживанииЖурналы по санитарии, проверкам СЭСЛифтыКомплекты журналовНефтебазыБассейныГазовое хозяйство, газораспределительные системы, ГАЗПРОМЖКХЭксплуатация зданий и сооруженийЖурналы и бланки для нотариусов, юристов, адвокатовЖурналы и бланки для организаций пищевого производства, общепита и пищевых блоковЖурналы и бланки для организаций, занимающихся охраной объектов и частных лицЖурналы и бланки для ФТС РФ (таможни)Журналы для образовательных учрежденийЖурналы и бланки для армии, вооруженных силБанкиГеодезия, геологияГрузоподъемные механизмыДокументы, относящиеся к нескольким отраслямНефтепромысел, нефтепроводыДелопроизводствоЖурналы для медицинских учрежденийАЗС и АЗГСЭлектроустановкиТепловые энергоустановки, котельныеЭнергетикаШахты, рудники, метрополитены, подземные сооруженияТуризмДрагметаллыУчреждения культуры, библиотеки, музеиПсихологияПроверки и контроль госорганами, контролирующими организациямиРаботы с повышенной опасностьюПожарная безопасностьОбложки для журналов и удостоверенийАптекиТранспортРегулирование алкогольного рынкаАвтодороги, дорожное хозяйствоСамокопирующиеся бланкиСельское хозяйство, ветеринарияСкладСнегоплавильные пунктыСтройка, строительствоАрхивыАттракционыМетрологияЖурналы для парикмахерских, салонов красоты, маникюрных, педикюрных кабинетовКладбищаКанатные дороги, фуникулеры

Охрана труда

Удостоверения, Свидетельства

Зачетные книжки, студенческие билетыУдостоверения рабочих различных строительных специальностей

Членские книжки

ГК, ГСК, членские книжки, пропуска и пр.Садоводческие книжки, членские книжки СНТ

Печати и штампы

Книги

Нормативные правовые актыОбщественные и гуманитарные наукиРелигия. Оккультизм. ЭзотерикаОхрана труда, обеспечение безопасностиСанПины, СП, МУ, МР, ГНПодарочные книгиПутешествия. Отдых. Хобби. СпортНаука. Техника. МедицинаКомпьютеры и интернетКосмосРостехнадзорКниги в электронном видеКниги издательства "Комсомольская правда"Искусство. Культура. ФилологияДругоеБукинистическая литератураСНиП, СП, СО,СТО, РД, НП, ПБ, МДКГОСТы, ОСТыЭнциклопедии, справочники, словариДомашний кругДетская литератураУчебный годСборники рецептур блюд для предприятий общественного питанияЭкономическая литератураХудожественная литература

Знаки безопасности, таблички, стенды

Вспомогательные знаки, таблички-наклейкиЗапрещающие знакиЗнаки для инвалидовЗнаки пожарной безопасностиЗнаки электробезопасностиИнформационные знаки для строительных площадокМедицинские и санитарные знакиПредписывающие знакиПредупреждающие знакиСтендыЗнаки для уборки и сбора мусораУказательные знакиЭвакуационные знакиЮмористические знакиНаклейкиЗнаки на автомобиль

Диски

Плакаты

Металлические изделия (металлическая мебель, конструкции, навесы)

Металлическая мебельМеталлические изделия для дачи и дома

Подарки нашим покупателям

Портреты знаменитых людей

Сувениры

Кружки для термопереносаБрелокиГудки и Рожки охотничьиСувениры, подарки для мужчинПредметы интерьераЗажигалкиПоддарочные наборы игрБизнес сувениры, корпоративные подаркиГимн России. Эксклюзивное графическое оформление в багетном обрамлении

Товары для дома и офиса

Средства дезинфекцииКаски, защитные очки, маскиПланы эвакуацииСамоспасателиИндикаторы стерилизацииФитолампы и прожекторыОгнетушителиГрамоты и благодарностиКанцелярские товарыКухонные принадлежностиХозяйственные товарыЭлектроудлинители, тройники, катушкиКартонные коробкиЭлектроустановочные изделия

Товары для развития, игрушки

Бумажные модели

Погоны министерств и ведомств

Товары для здоровья, БАДы

Аюрведические товарыСредства гигиены, косметика из минералов Мертвого моря

Юнармия

;