- Артикул:00-01092289
- Автор: У. Тилл, Дж. Паксон
- Обложка: Твердая обложка
- Издательство: МИР (все книги издательства)
- Город: Москва
- Страниц: 504
- Формат: 60х90 1/16
- Год: 1985
- Вес: 762 г
Развернуть ▼
В книге американских специалистов рассматриваются методы введения примесей в полупроводники, выращивания эпитаксиальных пленок. Излагаются теория и свойства диодов, биполярных и полевых транзисторов. Подробно описываются процессы производства интегральных схем и их испытания.
Для специалистов в области электронной техники и студентов соответствующих специальностей вузов.
Содержание
Предисловие редактора перевода
Предисловие
Глава 1. Технология интегральных схем
1.1. Кремний
1.2. Производство интегральных схем
1.3. Толстопленочные схемы
1.4. Тонкопленочные схемы
Глава 2. Энергетические зоны и свойства кристаллов
2.1. Электронная структура атома
2.2. Структура энергетических зон в кристаллах
2.3. Кристаллическая решетка кремния
2.4. Дефекты кристаллов
2.5. Влияние дефектов на электронные свойства
2.6. Выращивание кристаллов
2.7. Процесс зонной плавки
Задачи
Литература
Глава 3. Фазовые диаграммы и твердые растворы
3.1. Типы фазовых диаграмм
3.2. Системы, имеющие важное значение в микроэлектронике
3.3. Твердая растворимость
Задачи
Литература
Глава 4. Диффузия и ионное внедрение (имплантация)
4.1. Виды диффузии
4.2. Первый и второй законы Фика
4.3. Коэффициент диффузии
4.4 Твердая растворимость
4.5. Решения уравнения второго закона Фика
4.6. Расчет диффузионного слоя
4.7. Ионное внедрение
Задачи
Литература
Глава 5. Выращивание эпитаксиальных слоев и их свойства
5.1. Выращивание эпитаксиального слоя
5.2. Профили распределения примеси в эпитаксиальных слоях
5.3. Дефекты в эпитаксиальных слоях
Задачи
Литература
Глава 6. Диод с p- n-переходом
6.1. Кремний n- и p-типа
6.2. Подвижность носителей
6.3. Время жизни носителей заряда
6.4. Ток дрейфа
6.5. Ток диффузии
6 6. р- n-переход в состоянии равновесия
6 7. р- n-переход под напряжением, приложенным извне
6.8. Ширина обедненного слоя и емкость перехода при обратном смещении
6.9. Напряжение пробоя р- n-переходов
6.10. Другие ограничения идеальной модели
Задачи
Литература
Глава 7. Биполярные транзисторы
7.1. Общее описание работы транзистора
7.2. Работа при больших сигналах: модель Эберса - Молла
7.3. Ограничения и модификации модели
7.4. Работа транзистора при малом сигнале - гибридная л-модель
7.5. pnp-транзисторы
Задачи
Литература
Глава 8. Системы металл - окисел - полупроводники
8.1. Свойства двуокиси кремния
8.2. Выращивание и осаждение слоев кварцевого стекла
8.3. Качество кварцевого стекла
8.4. Нитрид кремния
8.5. Поверхности полупроводника
8.6. Реальные системы металл - изолятор - полупроводник
8.7. Характеристика емкость - напряжение
Задачи
Литература
Глава 9. Полевые транзисторы
9.1. ПТ со структурой металл - окисел - полупроводник (МОП ПТ)
9.2. Полевые транзисторы с р-n-переходом
Задачи
Литература
Глава 10. Литография
10.1. Топология шаблонов для биполярных ИМС
10.2. Электронно-лучевая литография
10.3. Резисты
10.4. Согласователи шаблонов
10.5. Фотообработка
Задачи
Литература
Глава 11. Изготовление интегральных схем
11.1. Производство биполярных схем
11.2. Производство биполярных приборов для логических схем
11.3. Технология МОП-процесса
Задачи
Литература
Глава 12. Изготовление гибридных схем
12.1. Гибридные толстопленочные схемы
12.2. Проектирование и этапы изготовления толстопленочных схем
12.3. Материалы
12.4. Макетирование и проектирование шаблонов
12.5. Процесс печати
12.6. Процессы сушки и отжига
12.7. Подгонка толстопленочных резисторов
12.8. Технология производства тонкопленочных схем
Задачи
Литература
Глава 13. Присоединение, установка в корпус и испытания
13.1. Соединения
13.2. Установка в корпус (сборка)
13.3. Испытания
Задачи
Литература
Глава 14. Семейства цифровых логических элементов
14.1. Основные логические функции
14.2. Рабочие параметры логических вентилей
14.3. Транзисторно-транзисторная логика (Т2Л)
14.4. Логические элементы с эмиттерными связями
14.5. Интегральная инжекционная логика (И2Л)
14.6. Логические элементы на п-МОП-структурах
14.7. Логические элементы КМОП
14 8. Сравнение цифровых логических схем
Задачи
Литература
Предметный указатель
Рекомендуем
