- Артикул:00-01107943
- Автор: Е. Т. Кучеренко
- Тираж: 10000 экз.
- Обложка: Твердая обложка
- Издательство: Вища школа (все книги издательства)
- Город: Киев
- Страниц: 264
- Формат: 60х90 1/16
- Год: 1981
- Вес: 406 г
Справочник по физическим основам вакуумной техники
В книге в доступной форме излагаются физические основы работы и технические показатели наиболее типичных и распространенных электронных приборов, а также принципы построения простейших электронных схем.
Третье издание справочника дополнено материалом, относящимся к техническим средствам современной микроэлектроники. Обновлен материал, касающийся классификации электронных приборов, их условных графических обозначений и параметров.
Содержание
Раздел 1. Теоретические основы вакуумной техники
Глава 1.1. Законы газового состояния
1.1.1. Идеальные и реальные газы
1.1.2. Закон Бойля — Мариотта
1.1.3. Закон Гей-Люссака
1.1.4. Закон Авогадро
1.1.5. Уравнение состояния идеальных газов
1.1.6. Уравнение состояния реальных газов
1.1.7. Закон Дальтона
1.1.8. Различие между газом и паром
Глава 1.2. Некоторые сведения из кинетической теории газов
1.2.1. Основные положения
1.2.2. Закон распределения молекул газа по скоростям
1.2.3. Давление в кинетической теории газов
1.2.4. Число молекул, ударяющихся о стенку сосуда
1.2.5. Направление скоростей молекул после удара о стенку
1.2.6. Число взаимных столкновений молекул газа
1.2.7. Средняя длина свободного пробега молекул газа
1.2.8. Средняя длина свободного пробега в смеси двух газов
1.2.9. Закон распределения длин свободных пробегов
Глава 1.3. Свойства газов в зависимости от степени разрежения
1.3.1 Определение степеней разрежения (вакуума)
1.3.2. Уравнение переноса в газах
1.3.3. Внутреннее трение или вязкость газов
1.3.4. Внутреннее трение при низких давлениях газа
1.3.5. Теплопроводность в газах
1.3.6. Радиометрический эффект
1.3.7. Диффузия газов
1.3.8. Термодиффузия в смеси газов
1.3.9. Режимы течения газов при низких давлениях
Глава 1.4. Прохождение электрического тока через разреженный газ
1.4.1. Средняя длина свободного пробега ионов и электронов в газе
1.4.2. Эффективные сечения процессов возбуждения и ионизации
1.4.3. Потенциалы возбуждения и ионизации
1.4.4. Коэффициент объемной ионизации электронов. Явление газо¬вого усиления
1.4.5. Другие элементарные процессы, сопровождающие прохождение электрического тока через разреженный газ
1.4.6. Движение заряженных частиц в газе
1.4.7. Условие зажигания самостоятельного разряда
1.4.8. Вольт-амперная характеристика разряда
1.4.9. Условие стабильного горения разряда
1.4.10. Особенности тлеющего разряда
1.4.11. Дуговые разряды
Глава 1.5. Физико-химические явления при низких давлениях
1.5.1. Испарение и конденсация в вакууме
1.5.2. Поглощение газов и паров твердыми телами
1.5.3. Физическая и химическая адсорбция в вакууме
1.5.4. Газопроницаемость металлов в вакууме
1.5.5. Десорбция газов из твердых тел
1.5.6. Поглощение газов в присутствии раскаленных поверхностей металлов
1.5.7. Поглощение газов при электрическом разряде
Глава 1.6. Теоретические основы процесса откачки
1.6.1. Процесс откачки и понятие быстроты действия
1.6.2. Пропускная способность круглых отверстий (диафрагм)
1.6.3. Пропускная способность вакуумпровода круглого сечения
1.6.4. Пропускная способность вакуумпроводов с некруглым попе¬речным сечением
1.6.5. Пропускная способность короткого вакуумпровода
1.6.6. Учет сопротивления изгиба вакуумпровода
1.6.7. Пропускная способность охлаждаемой ловушки
Раздел 2. Физические принципы работы вакуумных насосов
Глава 2.1. Общие сведения
2.1.1. Требования к вакууму и его значение в производстве электро¬вакуумных приборов
2.1.2. Вакуумные насосы и их классификация
2.1.3. Характерные параметры вакуумных насосов
2.1.4. Области действия вакуумных насосов
2.1.5. Методы определения быстроты действия вакуумных насосов
Глава 2.2. Вакуумные насосы, работа которых основана на использовании - закона Бойля—Мариотта
2.2.1. Поршневые насосы
2.2.2. Вращательные насосы
2.2.3. Вращательные пластинчатые насосы
2.2.4. Золотниковые (плунжерные) насосы
2.2.5. Принцип газового балласта
2.2.6. Рабочие жидкости для вращательных вакуумных насосов
Глава 2.3. Насосы, работа которых основана на использовании явления внутреннего трения
2.3.1. Общие сведения
2.3.2. Водоструйные насосы
2.3.3. Пароэжекторные насосы
2.3.4. Бустерные (вспомогательные) насосы
2.3.5. Рабочие жидкости для эжекторных и бустерных насосов
Глава 2.4. Молекулярные насосы
2.4.1. Механические молекулярные насосы
2.4.2. Диффузионные молекулярные насосы
2.4.3. Характерные особенности молекулярных диффузионных на¬сосов
2.4.4, Рабочие жидкости диффузионных молекулярных насосов
Глава 2.5. Насосы, работа которых основана на ионизации газа (ионные насосы)
2.5.1. Принцип работы ионных насосов
2.5.2. Быстрота действия ионного насоса
2.5.3. Практические конструкции ионных насосов
Глава 2.6. Насосы, работа которых основана на использовании явления физико-химического связывания газов
2.6.1. Ионно-сорбционные насосы
2.6.2. Электроразрядные магнитные насосы
2.6.3. Адсорбционные насосы
2.6.4. Конденсационные (криогенные) насосы
Раздел 3. Измерение низких давлений
Глава 3.1. Общие сведения
3.1.1. Связь между состоянием разрежения газа и абсолютным давле¬нием
3.1.2. Диапазон и точность измерения низких давлений
3.1.3. Единицы измерения низких давлений
3.1.4. Классификация приборов для измерения низких давлений
Глава 3.2. Механические манометры
3.2.1. Гидростатические манометры
3.2.2. Деформационные манометры
3.2.3. Электрические мембранные манометры
3.2.4. Механические манометры для измерения давления паров
Глава 3.3. Компрессионные манометры
3.3.1. Принцип работы
3.3.2. Методы градуировки и измерения
3.3.3. Конструктивные особенности компрессионных манометров
3.3.4. Преимущества и недостатки компрессионных манометров
Глава 3.4. Манометры, работа которых основана на использовании зако¬нов кинетической теории газов
3.4.1. Термомолекулярные манометры
3.4.2. Вязкостные манометры
Глава 3.5. Манометры, работа которых основана на использовании теп¬лопроводности газов
3.5.1. Зависимость теплопроводности от давления газа
3.5.2. Манометры сопротивления
3.5.3. Термопарные манометры
3.5.4. Чувствительность тепловых манометров
3.5.5. Тепловые манометры расширения
Глава 3.6. Ионизационные манометры
3.6.1. Классификация ионизационных манометров
3.6.2. Разрядная трубка как индикатор состояния разрежения
3.6.3 Магнитные электроразрядные манометры
3.6.4. Электроразрядные манометры магнетронного типа для измере¬ния сверхвысокого вакуума
3.6.5. Термоэлектронные ионизационные манометры
3.6.6. Термоэлектронные ионизационные манометры для измерения сверхвысокого вакуума
3.6.7. Проверка линейности шкалы датчиков ионизационных манометров в области давлений ниже 10(-5) мм рт. ст
3.6.8. Чувствительность ионизационных манометров к различным газам
3.6.9. Расширение нижнего предела измерения ионизационных мано¬метров методом «вспыхивающей нити»
3.6.10. Ионизационные манометры с радиоактивными источниками
Глава 3.7. Градуировка вакуумметров
3.7.1. Общие требования
3.7.2. Метод изотермического расширения
3.7.3. Метод постоянного объема
3.7.4. Метод переменной проводимости
Раздел 4 Измерение парциальных давлений и массовый анализ остаточных газов
Глава 4.1. Общие сведения
Г лава 4.2. Статические масс-анализаторы
4.2.1. Масс-анализаторы с магнитным разделением ионов
4.2.2. Масс-анализатор с циклоидальной фокусировкой (трохотрон)
Глава 4.3. Динамические масс-анализаторы
4.3.1. Общие замечания
4.3.2. Омегатронный масс-анализатор (омегатрон)
4.3.3. Радиочастотный масс-анализатор
4.3.4. Импульсный времяпролетный масс-анализатор (хронотрон)
4.3.5. Квадрупольный масс-анализатор
4.3.6. Линейный резонансный масс-анализатор (фарвитрон)
Глава 4.4. Градуировка масс-анализаторов и измерителей парциальных давлений
4.4.1. Градуировка по эталонным смесям газов
4.4.2. Оценка чувствительности масс-анализатора к различным га¬зам расчетным путем
Глава 4.5. Методы десорбционной спектрометрии
4.5.1. Термодесорбционный спектрометр
4.5.2. Фотодесорбционная спектрометрия
4.4.3. Ионнодесорбционная спектрометрия
Раздел 5. Откачные вакуумные системы
Глава 5.1. Системы для получения высокого вакуума
5.1.1. Требования, предъявляемые к вакуумным системам
5.1.2. Статические и динамические вакуумные системы
5.1.3. Конструкции типовых вакуумных систем
5.1.4. Вакуумные системы для безмасляной откачки
Глава 5.2. Вакуумные соединения
5.2.1. Неразъемные вакуумные соединения
5.2.2. Разборные вакуумные соединения
5.2.3. Гибкие вакуумные соединения
5.2.4. Передача движения в вакуум
5.2.5. Электрические вакуумные вводы
Глава 5.3. Коммутационные устройства вакуумных систем
5.3.1. Общая характеристика
5.3.2. Стеклянные вакуумные краны и затворы
5.3.3. Металлические вакуумные краны и затворы
5.3.4. Натекатели и дозирующие устройства
Глава 5.4. Вакуумные ловушки
5.4.1. Требования, предъявляемые к вакуумным ловушкам
5.4.2. Механические ловушки (маслоотражатели)
5.4.3. Адсорбционные ловушки
5.4.4. Вымораживающие (конденсационные) ловушки
5.4.5. Горячие (термические) ловушки
5.4.6. Газоразрядные (электрические) ловушки
Раздел 6. Вакуумные течи и их обнаружение
Глава 6.1. Общие сведения
6.1.1. Герметичность вакуумной системы и ее количественная оценка
6.1.2. Допустимая суммарная величина течи
6.1.3. Особенности течения газов по тонким капиллярам
Глава 6.2. Методы обнаружения течей
6.2.1. Общая характеристика
6.2.2. Методы течеискания с использованием избыточного давления
6.2.3. Обнаружение течи при помощи газового разряда
6.2.4. Метод манометров, находящихся в вакуумной установке
6.2.5. Метод дифференциальной системы манометров
6.2.6. Водородный метод или метод палладиевого барьера
6.2.7. Галоидный течеискатель
6.2.8. Использование масс-спектрометров для течеискания
6.2.9. Другие методы течеискания
Приложения
Литература
Предметный указатель
Рекомендуем
Артикул 00204639
