Технология микросхем

В наличии Цена за шт.

830

Количество
Купить

Акции и скидки Поделиться


  • Артикул:00-01048529
  • Автор: Иванов-Есипович Н.К.
  • Обложка: Твердый переплет
  • Издательство: Высшая школа (все книги издательства)
  • Город: Москва
  • Страниц: 256
  • Формат: 84х108 1/32
  • Год: 1972
  • Вес: 454 г
  • Серия: Учебное пособие для ВУЗов (все книги серии)
Развернуть ▼

В книге рассматриваются вопросы технологии толстых композиционных пленок, вакуумтермической технологии, технологии полупроводниковых микросхем. Значительное внимание уделено ионноплазменному распылению, как способу получения тонкопленочных микросхем.
Вопросы технологии освещаются с позиций физико-химических процессов, протекающих при изготовлении микросхем.

Оглавление
Предисловие
Введение
Глава первая. Невакуумная технология микросхем
§ 1.1. Конструкция ГИС применительно к технологической реализации на стеклоэмалевых пленках
§ 1.2. Сцепление пиропасты с наполнителем и подложкой
§ 1.3. Технологические особенности стеклометаллических и стеклокерамических пироэмалей
§ 1.4. Трафаретная паста
§ 1.5. Технология рисунка толстопленочных микросхем
§ 1.6. Хемоэмалевые тонкие пленки
Глава вторая. Вакуумтермическая технология
§ 2.1. Основы испарения в вакууме
§ 2.2. Мешающее динамическое присутствие газовых молекул на подложке в вакууме
§ 2.3. Подложка и ее поверхность
§ 2.4. Кинетика процесса конденсации
§ 2.5. Методы образования атомарного потока вещества при вакуумтермическом испарении
§ 2.6. Получение рисунка тонкопленочных ИС
§ 2.7. Вакуумтермическая технология тонкопленочных резисторных, конденсаторных и RC-структур
§ 2.8. Получение технологического вакуума и измерение скорости осаждения
Глава третья. Ионноплазменная технология
§ 3.1. Механизм ионного распыления и характеристика встречных потоков
§ 3.2. Особенности конденсации при ионном распылении
§ 3.3. Микроструктурные особенности тонких пленок тантала в связи с технологией
§ 3.4. Реактивное распыление как технологический метод газового легирования
§ 3.5. Плазменное и электролитическое оксидирование
§ 3.6. Технологические причины дефектов танталовых тонкопленочных конденсаторов
§ 3.7. Осаждение органических пленок в тлеющем разряде
Глава четвертая. Технология полупроводниковых микросхем
§ 4.1. Структура полупроводниковых ИС
§ 4.2. Эпитаксия
§ 4.3. Химическое осаждение из газовой фазы
§ 4.4. Легирование диффузией
§ 4.5. Окисное и нитридное маскирование
§ 4.6. Металлизация
§ 4.7. Свойства фоторезистов для прецизионной фотолитографии
§ 4.8. Технология нанесения и обработки фоторезистных слоев
§ 4.9. Репродуцирование и мультиплицирование
Глава пятая. Сборка и контроль качества микросхем
§ 5.1. Термокомпрессионная, контактная и ультразвуковая сварка
§ 5.2. Электрическое соединение склеиванием
§ 5.3. Присоединение выводов пайкой
§ 5.4. Лазерная сварка
§ 5.5. Герметизация микросхем
§ 5.6. Гигиена производственного помещения
§ 5.7. Контроль и обеспечение качества в производстве ИС специального применения
Литература


Оставьте отзыв о товаре
Рекомендуем
×

Диски

Журналы и бланки

Журналы для автодорог, дорожного хозяйстваЖурналы для АЗС и АЗГСЖурналы для аптекЖурналы для архивовЖурналы для аттракционовЖурналы для банковЖурналы для бассейновЖурналы для бухгалтерииЖурналы для газовых хозяйств, газораспределительных систем, ГАЗПРОМаЖурналы для гостиниц, общежитий, хостеловЖурналы для грузоподъемных механизмовЖурналы для делопроизводстваЖурналы для драгметалловЖурналы для ЖКХЖурналы для канатных дорог, фуникулеровЖурналы для кладбищЖурналы для конструкторских, научно-техническая документацияЖурналы для лесных хозяйствЖурналы для лифтовЖурналы для медицинских учрежденийЖурналы для МЧСЖурналы для нефтебазЖурналы для нефтепромысла, нефтепроводовЖурналы для образовательных учрежденийЖурналы для парикмахерских, салонов красоты, маникюрных, педикюрных кабинетовЖурналы для проверки и контроля госорганами, контролирующими организациямиЖурналы для промышленностиЖурналы для работ с повышенной опасностьюЖурналы для регулирования алкогольного рынкаЖурналы для сельских хозяйств, ветеринарииЖурналы для складовЖурналы для снегоплавильных пунктовЖурналы для стройки, строительстваЖурналы для тепловых энергоустановок, котельныхЖурналы для транспортаЖурналы для туризмаЖурналы для учреждений культуры, библиотек, музеевЖурналы для церкви, религиозных организацийЖурналы для шахт, рудников, метрополитенов, подземных сооруженийЖурналы для электроустановокЖурналы и бланки для армии, вооруженных силЖурналы и бланки для нотариусов, юристов, адвокатовЖурналы и бланки для организаций пищевого производства, общепита и пищевых блоковЖурналы и бланки для организаций, занимающихся охраной объектов и частных лицЖурналы и бланки для ФТС РФ (таможни)Журналы и бланки по экологииЖурналы и бланки, используемые в торговле, бытовом обслуживанииЖурналы и бланки, относящиеся к нескольким отраслямЖурналы по геодезии, геологииЖурналы по метрологииЖурналы по охране труда и технике безопасностиЖурналы по пожарной безопасностиЖурналы по психологииЖурналы по санитарии, проверкам СЭСЖурналы по связиЖурналы по эксплуатации зданий и сооруженийЖурналы по энергетикеЖурналы, бланки, формы для кадровых работЖурналы, бланки, формы документов для органов прокуратуры и суда, минюста, пенитенциарной системыЖурналы, бланки, формы документов МВД РФ, РосгвардииКомплекты документов и журналовОбложки для журналов и удостоверенийСамокопирующиеся бланки

Знаки безопасности, таблички, стенды

Вспомогательные знаки, таблички-наклейкиЗапрещающие знакиЗнаки для инвалидовЗнаки для уборки и сбора мусораЗнаки на автомобильЗнаки пожарной безопасностиЗнаки электробезопасностиИнформационные знаки для строительных площадокМедицинские и санитарные знакиНаклейкиПредписывающие знакиПредупреждающие знакиСтендыУказательные знакиЭвакуационные знакиЮмористические знаки

Календари

Книги

Букинистическая литератураГОСТы, ОСТыДетская литератураДомашний кругДругоеИскусство. Культура. ФилологияКниги в электронном видеКниги издательства "Комсомольская правда"Компьютеры и интернетКосмосНаука. Техника. МедицинаНормативные правовые актыОбщественные и гуманитарные наукиОхрана труда, обеспечение безопасностиПодарочные книгиПутешествия. Отдых. Хобби. СпортРелигия. Оккультизм. ЭзотерикаРостехнадзорСанПины, СП, МУ, МР, ГНСборники рецептур блюд для предприятий общественного питанияСНиП, СП, СО,СТО, РД, НП, ПБ, МДК, МДС, ВСНУчебный годХудожественная литератураЭкономическая литератураЭнциклопедии, справочники, словари

Курвиметры

Ленты с тиснением

Линейки

Авиационные и военные линейкиДетские линейкиМедицинские линейкиПортновские линейкиТехнические линейкиТрафареты с чертежными шрифтамиЧертежные линейки

Маркировочная продукция

Маркировка трубопровода "Вода"Маркировка трубопровода "Воздух"Маркировка трубопровода "Газ"Маркировка трубопровода "Жидкость"Маркировка трубопровода "Кислота"Маркировка трубопровода "Пар"Маркировка трубопровода "Прочие вещества"Маркировка трубопровода "Щелочь"

Материалы для типографии (мини-типографии)

Бумага для оргтехникиКлейПереплетные материалыПленка для печати и ламинацииФольга для тиснения

Металлические изделия (металлическая мебель, конструкции, навесы)

Металлическая мебельМеталлические изделия для дачи и дома

Носки и портянки

Одноразовая одежда

Охрана труда

Печати и штампы

Медицинские печати и штампыОснастки, самонаборные штампыПечати и штампы для бухгалтерии и делопроизводстваПечати и штампы для водителейПечать фирмы (организации, компании, подразделения, отдела)Штампы по техническому контролю, учету и хранению

Плакаты

Погоны министерств и ведомств

Подарки нашим покупателям

Полотенца

Портреты знаменитых людей

Сувениры

Бизнес сувениры, корпоративные подаркиБрелкиГимн России. Эксклюзивное графическое оформление в багетном обрамленииГудки и Рожки охотничьиЗажигалкиКружки для термопереносаКружки подарочныеПодарочные наборы игрПредметы интерьераСувениры, подарки для мужчин

Тир

Рогатки спортивные

Ткани

Товары "Юнармия"

Береты

Товары для дома и офиса

Грамоты и благодарностиИндикаторы стерилизацииКанцелярские товарыКаски, защитные очки, маскиКухонные принадлежностиОгнетушителиПланы эвакуацииСамоспасателиСредства дезинфекцииТовары для ремонтаФитолампы и прожекторыХозяйственные товарыЭлектроудлинители, тройники, катушкиЭлектроустановочные изделия

Товары для здоровья, БАДы

Аюрведические товарыСредства гигиены, косметика из минералов Мертвого моря

Товары для развития, игрушки

Бумажные модели

Товары для спорта, туризма и охоты

Походные сумки, рюкзаки и мешочки для храненияСигнальное снаряжениеТовары для фитнеса

Удостоверения, Свидетельства

Зачетные книжки, студенческие билетыУдостоверения для спортивных секцийУдостоверения рабочих различных специальностей

Упаковка, упаковочные материалы

Коробки картонные

Членские книжки

ГК, ГСК, членские книжки, пропуска и пр.Садоводческие книжки, членские книжки СНТ
;