- Артикул:00-01114502
- Автор: В. А. Югов
- Тираж: 3000 экз.
- Обложка: Мягкая обложка
- Город: Москва
- Страниц: 124
- Формат: 60х90 1/16
- Год: 1964
- Вес: 156 г
Развернуть ▼
Репринтное издание
В книге обобщены результаты исследований по применению тонких пленок в различных областях радиоизмерительной техники и изложены данные, полученные автором.
Рассмотрены различные методы получения тонких металлических, полупроводниковых и диэлектрических пленок, в частности метод испарения в вакууме как наиболее перспективный, а также вопросы их применения. Значительное внимание уделено использованию пленочных элементов в измерителях мощности с. в. ч. Описаны основные физические и некоторые химические свойства тонких пленок и их особенности.
Книга предназначена для инженеров и научных сотрудников, работающих в области радиоизмерений, а также для конструкторов радиоизмерительной аппаратуры. Она может быть полезна для работников научно- исследовательских институтов и предприятий радиоэлектроники и радиотехники, а также студентам соот¬ветствующих вузов и факультетов.
Содержание
Введение
Методы получения тонких пленок
Испарение в вакууме
Катодное распыление
Вжигание
Химическое осаждение
Электрохимическое осаждение
Термохимическое разложение
Разбрызгивание (пневматическое распыление)
Газопламенное распыление
Диффузия при высоких температурах
Окунание
Сравнительная оценка различных методов получения тонких пленок
Свойства и особенности тонких пленок
Физические свойства
Химические свойства
Методика измерения толщины пленок
Измерения электропроводности
Применение тонких пленок при радиотехнических измерениях
Общие вопросы применения пленок в различных измерительных приборах
Измерители мощности
Металлопленочный болометр
Новые конструкции измерителей мощности
Измерители ослабления, поглощающие нагрузки
Измерители других величин
Измерения характеристик радиотехнических материалов
Литература