- Артикул:00-01041628
- Автор: Розанов Л.Н.
- ISBN: 978-5-06-005521-4
- Обложка: Твердый переплет
- Издательство: Высшая школа (все книги издательства)
- Город: Москва
- Страниц: 391
- Формат: 60х88 1/16
- Год: 2007
- Вес: 565 г
- Серия: Учебное пособие для вузов (все книги серии)
Развернуть ▼
В учебнике рассмотрены свойства газов при низких давлениях и физико-химические процессы на поверхности твердого тела, течение газов при низких давлениях, методы объемной, ионной и сорбционной откачки, принципы действия различных типов вакуумных насосов, измерение общих и парциальных давлений, течеискание, типовые вакуумные схемы, расчет и проектирование вакуумных систем, конструкции элементов.
Для студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки дипломированных специалистов, бакалавров и магистров «Электроника и микроэлектроника». Учебник может быть полезен студентам, обучающимся по направлению подготовки дипломированных специалистов «Гидравлическая, вакуумная и компрессорная техника» и другим направлениям.
Оглавление
Предисловие
Введение
В. 1. Понятие «вакуум»
В. 2. История развития вакуумной техники
В. 3. Применение вакуумной техники
Глава 1. Свойства газов при низких давлениях
1.1. Давление газа
1.2. Распределение молекул газов по скоростям
1.3. Средняя длина свободного пути
1.4. Взаимодействие молекул газа с поверхностью
1.5. Время адсорбции
1.6. Давление насыщенных паров
1.7. Степень покрытия поверхности молекулами газа
1.8. Растворение газов в твердых телах
1.9. Электрические явления
Контрольные вопросы
Задачи
Глава 2. Теоретические основы
2.1. Степени вакуума
2.2. Явления переноса
2.3. Температурное равновесие давлений
2.4. Моделирование течения газа методом механики сплошной среды
2.5. Моделирование течения газа методом интегральных угловых коэффициентов
2.6. Моделирование течения газа методом статистических испытаний
2.7. Газовыделение
2.8. Основное уравнение
Контрольные вопросы
Задачи
Глава 3. Измерение вакуума
3.1. Классификация методов измерения
3.2. Механические методы
3.3. Тепловые методы
3.4. Электрические методы измерения общих давлений
3.5. Электрические метод измерения парциальных давлений
3.6. Сорбционные методы
3.7. Градуировка преобразователей для измерения общего и парциального давлений
3.8. Измерение газовых потоков
3.9. Методы течеискания
Контрольные вопросы
Глава 4. Механические методы получения вакуума
4.1. Общая характеристика вакуумных насосов
4.2. Объемная откачка
4.3. Конструкции объемных насосов
4.4. Молекулярная откачка
4.5. Конструкции молекулярных насосов
4.6. Пароструйная откачка
4.7. Рабочие жидкости
4.8. Конструкции пароструйных насосов
4.9. Ловушки
Контрольные вопросы
Глава 5. Физико-химические методы получения вакуума
5.1. Общая характеристика
5.2. Ионная откачка
5.3. Хемосорбционная откачка
5.4. Конструкции испарительных насосов
5.5. Криоконденсационная откачка
5.6. Криоадсорбционная откачка
5.7. Конструкции криогенных насосов
5.8. Ионно-сорбционная откачка
5.9. Конструкции ионно-сорбционных насосов
Контрольные вопросы
Глава 6. Анализ вакуумных систем
6.1. Типовые схемы вакуумных установок
6.2. Расчет газовых нагрузок
6.3. Уравнения стационарной откачки
6.4. Соединения арматуры и откачиваемых объектов
6.5. Соединения насосов
6.6. Время откачки
6.7. Себестоимость откачки
6.8. Проверочный расчет вакуумной системы
6.9. Пример проверочного расчета
Контрольные вопросы
Задачи
Глава 7. Синтез вакуумных систем
7.1. База данных элементов вакуумных систем
7.2. Структурный синтез вакуумных систем методом перебора вариантов
7.3. Структурный синтез по типовым образам
7.4. Параметрический синтез вакуумной системы по коэффициенту использования вакуумного насоса
7.5. Многопараметрический синтез вакуумной системы
7.6. Схемы соединений и компоновки
7.7. Проектировочный расчет вакуумной системы
7.8. Пример проектировочного расчета вакуумной системы в стационарном режиме
Контрольные вопросы
Глава 8. Конструирование вакуумных систем
8.1. Конструкционные вакуумные материалы
8.2. Неразборные соединения
8.3. Разборные вакуумные соединения
8.4. Вакуумные трубопроводы
8.5. Устройства для передачи движения в вакуум
8.6. Электрические вакуумные вводы
8.7. Вакуумные затворы
Контрольные вопросы
Заключение
Приложения
П1. Справочные данные
П2. Выводы формул
П3. Характеристики элементов вакуумных систем
Обозначения физических величин
Литература
Предметный указатель
Рекомендуем
