Вакуумная техника . Справочник (3-е издание, переработанное и дополненное)

Содержит основные сведения по теории вакуума, расчету, конструированию и эксплуатации вакуумных систем и их элементов.

Приведены физико-механические характеристики материалов, применяемых для изготовления элементов вакуумной аппаратуры, методы ее сборки и отладки, правила эксплуатации. Описаны приборы для измерения давления в вакуумных системах и контроля степени их негерметичности.

3-е издание (2-е изд. 1992 г.) дополнено разделами по вакуумным манипуляторам и механизмам, работающим в вакууме, безмасляным форвакуумным насосам, не распыляемым газопоглотителям, а также сравнительными характеристиками отечественных и зарубежных средств получения вакуума и других элементов вакуумных систем.

Для инженерно-технических работников, занимающихся конструированием, производством и эксплуатацией вакуумных систем, может быть полезен студентам вузов.
Содержание

Предисловие

Раздел 1. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКИ

Глава 1. Общие сведения (В.Е. Минайчев, К.Е. Демихов, Н.К. Никулин)
1.1. Понятие "вакуум"
1.2. Термины и определения.
1.3. Условные проходы элементов вакуумных систем ....
1.4. Принципиальные вакуумные схемы
1.5. Единицы физических величин
1.6. Соотношение единиц давления и потока газа
1.7. Состав атмосферного воздуха
1.8. Некоторые физические константы
1.9. Приведение массы тела в атмосфере к массе тела в вакууме
1.10. Газокинетические параметры
1.11. Основные области применения вакуумной технологии.

Глава 2. Основные сведения из молекулярно-кинетической теории газов {К.Е. Демихов, Н.К. Никулин, С.Б. Нестеров, Е.С. Фролов)
2.1. Давление газа
2.2. Законы идеального газа ...
2.3. Барометрическая формула
2.4. Скорость молекул газа. Закон распределения молекул газа по скоростям
2.5. Средняя длина свободногопути молекул газа
2.6. Теплопроводность газов
2.7. Вязкость газов
2.8. Диффузия в газах
2.9. Законы взаимодействия молекул газа с поверхностью твердого тела
2.10. Скольжение разреженных газов
2.11. Температурный скачок

Глава 3. Течение разреженных газов и проводимость элементов вакуумных систем (К.Е. Демихов, Н.К. Никулин, С.Б. Нестеров)
3.1. Основные понятия
3.2. Основное уравнение вакуумной техники
3.3. Режимы течения газов
3.4. Вязкостный режим течения
3.5. Молекулярный режим течения
3.6. Переходный режим течения
3.7. Статистический метод определения проводимости вакуумных систем
3.8. Расчет централизованных вакуумных систем
3.9. Процесс откачки газа из вакуумной системы
3.10. Пример расчета проводимости сложного трубопровода
3.11. Определение проводимости вакуумных систем методом угловых коэффициентов

Раздел 2. КОНСТРУКЦИОННЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ

Глава 4. Материалы вакуумных систем
4.1. Общие сведения (А. Т. Александрова)
4.2. Чугун (А.Т. Александрова)
4.3. Углеродистые стали (А.Т. Александрова)
4.4. Легированные стали (А.Т. Александрова)
4.5. Жаропрочные стали и сплавы (А. Т. Александрова)...
4.6. Коррозионно-стойкие стали (А.Т. Александрова)
4.7. Стали и сплавы для работы при низких температурах (А.Т. Александрова)
4.8. Титан и его сплавы (А.Т. Александрова)
4.9. Тугоплавкие металлы (А. Т. Александрова)
4.10. Цветные металлы и сплавы (А.Т. Александрова)
4.11. Стекло, керамика, ситаллы (А.Т. Александрова)
4.12. Пластмассы (А.Т. Александрова, Ю.В. Панфилов)
4.13. Резины (Ю.В. Панфилов)
4.14. Клеи (А.Т. Александрова)
4.15. Легкоплавкие металлы и сплавы (А. Т. Александрова) .
4.16. Вакуумные смазки и герметики (Ю.В. Панфилов)
4.17. Геттерные материалы (Д.В. Быков, B.C. Петров)
4.18. Вакуумные свойства материалов (Ю.В. Панфилов)

Глава 5. Вакуумные герметичные соединения
5.1. Общие сведения и классификация (А.Т. Александрова)
5.2. Сварные соединения (А. Т. Александрова)
5.3. Паяные соединения (А.Т. Александрова)
5.4. Вакуумно-плотные соединения на основе глазурей, ситаллоцементов и эпоксидных смол (А.Т. Александрова)
5.5. Разъемные соединения (А. Т. Александрова, Ю.В. Панфилов)
5.6. Сверхвысоковакуумные разъемные соединения с расплавляемыми уплотнителями (А. Т. Александрова)

Глава 6. Вакуумные камеры (Ю.М. Пустовойт)
6.1. Классификация камер
6.2. Обечайки
6.3. Днища
6.4. Крышки
6.5. Прогрев и охлаждение камер
6.6. Расчет на прочность

Глава 7. Запорно-регулирующая арматура (O.K. Курбатов)
7.1. Классификация и предъявляемые требования
7.2. Сверхвысоковакуумные клапаны
7.3. Высоковакуумные и форвакуумные клапаны
7.4. Высоковакуумные затворы с различными приводами ....
7.5. Противоаварийные и напускные клапаны
7.6. Натекатели
7.7. Элементы газовых систем вакуумного технологического оборудования (С.В. Сажнев)

Глава 8. Конструкционные элементы вакуумных установок
8.1. Вводы движений в вакуум (В.Е. Минайчев, Ю.В. Панфилов)
8.2. Прецизионные манипуляторы и приводы исполнительных механизмов вакуумного оборудования (В.П. Михайлов, Е.А. Деулин)
8.3. Электрические вакуумные вводы (В.Е. Минайчев)
8.4. Вакуумные окна (В.Е. Минайчев)
8.5. Загрузочные вакуумные устройства (В. В. Одинокое).
8.5.1. Виды шлюзовых систем
8.5.2. Использование шлюзовых систем в вакуумном оборудовании
8.6. Гибкие герметизирующие звенья (В.Е. Минайчев)
8.7. Заглушки (В.Е. Минайчев)
8.8. Проектирование механизмов и компоновка вакуумного технологического оборудования по критерию минимума привносимой дефектности (Ю.В. Панфилов)

Раздел 3. ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

Глава 9. Механические вакуумные насосы
9.1. Поршневые насосы (К.Е. Демихов, Н.К. Никулин, Е.С Фролов)
9.2. Жидкостно-кольцевые насосы (И.В. Автономова)
9.3. Двухроторные насосы (А.В. Бурмистров)
9.3.1. Двухроторные насосы с внешним сжатием (типа Руте)
9.3.2. Двухроторные насосы с полным внутреннимсжатием типа "Claw" ....
9.4. Спиральные насосы (А.В. Бурмистров, С.И. Саликеев)
9.4.1. Конструкция и принцип действия СПВН
9.4.2. Расчет спирального насоса
9.5. Пластинчато-роторные и пластинчато-статорные насосы (И.В. Автономова)
9.5.1. Общие вопросы
9.5.2. Основы теории и расчета
9.5.3. Характеристики вакуумных насосов
9.6. Плунжерные насосы {И.В. Автономова)
9.6.1. Общие вопросы
9.6.2. Расчет газобалластных насосов
9.6.3. Рабочие жидкости для механических вакуумных насосов
9.7. Турбомолекулярные насосы (К.Е. Демихов, Н.К. Никулин, Е. С. Фролов)

Глава 10. Струйные вакуумные насосы (Д.А. Калинкин, В.Н. Кеменов, А.Б. Цейтлин, Е.Н. Капустин)
10.1. Классификация. Основные характеристики
10.2. Жидкостно-струйные насосы
10.3. Пароэжекторные насосы
10.4. Бустерные насосы
10.5. Диффузионные насосы
10.6. Вакуумные пароструйные агрегаты

Глава 11. Вакуумные ловушки (С.Б. Нестеров, В.Н. Кеменов, А.В. Андросов)
11.1. Основные понятия
11.2. Классификация ловушек
11.2.1. Водоохлаждаемые ловушки
11.2.2. Умеренно охлаждаемые ловушки
11.2.3. Криоловушки
11.2.4. Сорбционные ловушки
11.2.5. Каталитические (химические) ловушки
11.3. Примеры расчета высоковакуумных ловушек
11.3.1. Общие вопросы
11.3.2. Расчет высоковакуумных ловушек для диффузионных насосов
11.4. Селективная откачка смесей разреженных газов
11.4.1. Изменение температуры рабочих поверхностей
11.4.2. Изменение геометрии рабочих поверхностей
11.4.3. Экспериментальное определение проводимости водоохлаждаемой ловушки

Глава 12. Геттерные и геттерно-ионные насосы {Г.Л. Саксаганский)
12.1. Типы и важнейшие характеристики
12.2. Принципы оптимизационного проектирования
12.3. Средства откачки на основе нераспыляемых геттеров

12.4. Испарительные геттерные и геттерно-ионные насосы
12.5. Физические процессы в магнитных электроразрядных насосах
12.6. Основы конструирования и эксплуатации разрядных насосов

Глава 13. Криогенные средства откачки {А.В. Исаев, В.И. Куприянов)
13.1. Высоковакуумные крионасосы
13.1.1.Классификация и опи-сание работы крионасосов
13.1.2. Способы охлаждения
13.1.3. Тепловые нагрузки
13.1.4. Откачные характеристики
13.2. Низковакуумные конденсационные насосы
13.3. Адсорбционные насосы
13.4. Криогенные комбинированные насосы

Раздел 4. ВАКУУМНЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ И ИСПЫТАНИЯ

Глава 14. Вакуумметрия (И.В. Творогов, Д.А. Калинкин, К.Е. Демихов, Н.К. Никулин)
14.1. Классификация
14.2. Жидкостные вакуумметры
14.3. Деформационные вакуумметры
14.4. Тепловые вакуумметры
14.5. Радиометрический и вязкостный вакуумметры
14.6. Ионизационные вакуумметры

Глава 15. Масс-спектрометрия (В.Е. Минайчев, К.Е. Демихов, Н.К. Никулин)
15.1. Общие сведения
15.2. Статические масс-спектрометры
15.3. Динамические масс-спектрометры

Глава 16. Испытания на герметичность (В.Е. Минайчев, К.Е. Демихов, Н.К. Никулин)
16.1. Общие сведения
16.2. Манометрический метод
16.3. Масс-спектрометрический метод
16.4. Галогенный метод
16.5. Катарометрический метод
16.6. Метод высокочастотного разряда
16.7. Пузырьковый метод
16.8. Аммиачный метод
16.9. Люминесцентный метод

Глава 17. Испытания вакуумных машин (В.Е. Минайчев, К.Е. Демихов, Н.К. Никулин)
17.1. Общие сведения
17.2. Испытания механических насосов (агрегатов) с масляным уплотнением
17.3. Испытания двухроторных насосов (агрегатов)
17.4. Испытания турбомолекулярных насосов (агрегатов)....
17.5. Испытания пароструйных насосов (агрегатов)
17.6. Испытания электрофизических средств откачки (насосов, агрегатов) и крионасосов
17.7. Испытания адсорбционных насосов (агрегатов)

Список литературы

Предметный указатель