- Артикул:00-01107926
- Автор: Розанов Л. Н.
- Тираж: 9000 экз.
- Обложка: Твердая обложка
- Издательство: Машиностроение (все книги издательства)
- Город: Ленинград
- Страниц: 336
- Формат: 60х90 1/16
- Год: 1975
- Вес: 496 г
Развернуть ▼
Репринтное издание
В книге изложены вопросы, связанные с проектированием и эксплуатацией вакуумного оборудования. Рассмотрены теоретические основы вакуумной техники. Описаны конструкции элементов вакуумных систем, откачных машин, напылительных установок. Изложена методика проектирования вакуумных систем по коэффициенту использования насосов, имеются примеры расчетов для типовых вакуумных систем различных машин.
Книга предназначена для инженерно-технических работников, проектирующих и эксплуатирующих вакуумное оборудование. Она также может быть полезна студентам вузов, специализирующихся по электровакуумному и полупроводниковому машиностроению.
Содержание
Предисловие
Глава 1. Физика вакуума
1. Основные понятия
2. Явления переноса в вакууме
3. Адсорбционные процессы в вакууме
4. Газовыделение вакуумных материалов
Глава 2. Расчет и конструирование элементов вакуумных машин и установок
1. Конструкционные вакуумные материалы
2. Вакуумные трубопроводы
3. Неразборные вакуумные соединения
4. Разборные вакуумные соединения
5. Устройства для передачи движения в вакуум
6. Электрические вакуумные вводы
7. Математическое моделирование течения газа в молекулярном режиме через сложные элементы вакуумных систем
8. Вакуумные затворы
9. Вакуумные ловушки
Глава 3. Расчет и проектирование вакуумных машин и установок
1. Типовые вакуумные системы
2. Вакуумные схемы откачного оборудования
3. Выбор коэффициента использования вакуумных насосов
4. Определение суммарного газовыделения и натекания в вакуумную установку
5. Выбор вакуумных насосов
6. Выбор приборов для измерения низких давлений
7. Определение конструктивных размеров соединительных трубопроводов и арматуры
8. Графическая проверка выбора вакуумных насосов и определение совместности их работы
9. Расчет графиков распределения давления по длине вакуумной системы
10. Расчет форвакуумного баллона
11. Расчет времени неустановившегося режима работы вакуумной установки
12. Пример проектировочного расчета вакуумной установки
13. Централизованные системы откачки
14. Пример расчета централизованной форвакуумной системы
Глава 4. Оборудование для откачки электровакуумных приборов
1. Источники газовыделения в электровакуумных приборах
2. Технологический процесс откачки электровакуумных приборов
3. Контроль процесса откачки
4. Автоматизация запуска откачных постов
5. Управление процессом откачки
6. Схемы построения откачных машин
7. Откачные посты для обработки приборов со штенгелем
8. Автоматы откачки для приборов со штенгелем
9. Кинематические схемы автоматов откачки
10. Установки для бесштенгельной и камерной откачки электровакуумных приборов
11. Автоматы бесштенгельной и камерной откачки электровакуумных приборов
Глава 5. Оборудование для вакуумного нанесения тонких пленок
1. Термическое испарение в вакууме
2. Конструкции испарителей
3. Распыление ионной бомбардировкой
4. Принципиальные схемы построения напылительного оборудования
5. Вакуумные схемы напылительных установок
6. Контроль толщины пленок и скорости напыления
7. Управление процессом нанесения тонких пленок
8. Конструкции вакуумных установок периодического действия для термического испарения
9. Конструкции вакуумных установок периодического действия для ионного распыления
10. Шлюзовые загрузочные устройства напылительных установок
11. Конструкции вакуумных напылительных установок непрерывного действия
Приложение
Рекомендуем
