Введение в технологию проектирования и производства микроэлектромеханических тензопреобразователей с гетероструктурой "кремний на изоляторе" для авиационной и ракетно-космической техники: Учебное пособие Соколов Л.В.
описание
звоните нам с 9:00 до 19:00
 

Введение в технологию проектирования и производства микроэлектромеханических тензопреобразователей с гетероструктурой "кремний на изоляторе" для авиационной и ракетно-космической техники: Учебное пособие

Оценки: 4.8 5 20
от

Хорошо и качественно
Введение в технологию проектирования и производства микроэлектромеханических тензопреобразователей с гетероструктурой
Количество:
  
-
+
Цена: 750 
P
В корзину
В наличии
Артикул: 00-01006995
Автор: Соколов Л.В.
Издательство: МАИ (все книги издательства)
Место издания: Москва
ISBN: 978-5-4316-0260-3
Год: 2015
Переплет: Мягкая обложка
Вес: 81 г
Страниц: 84

Cкачать/полистать/читать on-line
Показать ▼

Развернуть ▼

Материал, изложенный в учебном пособии, обеспечивает закрепление знаний по технологии проектирования и производства радиокомпонентов и приборов на основе кремния, в частности микроэлектромеханических (МЭМС) измерительных тензорезистивных преобразователей на основе гетероструктуры “кремний на изоляторе” (КНИ). Помимо сведений, известных из различных источников научно-технической информации, приводятся оригинальные, полученные автором, результаты.
Рассмотрены также некоторые вопросы из физики и кристаллографии полупроводниковых материалов, технологии формирования объёмных (3D) кремниевых резисторов и других кремниевых объёмных структур — то, что необходимо для выполнения расчетов электрических и конструктивных параметров ЗБ-резисторов с учетом электрофизических свойств кремния.
Учебное пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по соответствующим специальностям, а также для инженеров и аспирантов, участвующим в выполнении научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ по данной тематике.
ОГЛАВЛЕНИЕ
ОСНОВНЫЕ СОКРАЩЕНИЯ И ОБОЗНАЧЕНИЯ ПРЕДИСЛОВИЕ
1. ФИЗИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ РАЗРАБОТКИ И ПРОИЗВОДСТВА КРЕМНИЕВЫХ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ
1.1. Кремний как основной материал полупроводниковых преобразователей механических величин и микросистем
1.2. Пьезорезистивный эффект в кремнии
1.3. Энергетическая диаграмма монокристаллического кремния при наличии и отсутствии механических напряжений
1.4. Транспортные свойства кремния и влияние механических напряжений
1.5. Отрицательные воздействия пьезорезистивного эффекта и их минимизация
2. МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ КАК МАТЕРИАЛ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ГЕТЕРОСТРУКТУР “КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ”
2.1. Кристаллы и индексы Миллера
2.2. Основные требования к полупроводниковым материалам
2.3. Основные сведения о гетероструктуре “кремний на изоляторе”
2.4. Получение кремния полупроводниковой чистоты
3. ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ НА КРЕМНИИ
3.1. Объемные полупроводниковые резисторы
3.2. Особенности технологии изготовления интегрального объёмного резистора на основе гетероструктуры “кремний на изоляторе”
3.3. Технология травления кремния
3.4. Классификация новых способов прецизионного микропрофилирования кремния
4. ПРОЕКТИРОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНОГО КНИ-ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ С МОНОЛИТНОЙ ТЕНЗОРАМКОЙ
4.1. Объект разработки
4.2. Метод расчета конструктивных и электрофизических параметров КНИ-тензопреобразователя
5. РАЗРАБОТКА ТОПОЛОГИИ ИНТЕГРАЛЬНОГО КНИ-ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ С МОНОЛИТНОЙ ТЕНЗОРАМКОЙ
5.1. Технические требования на проектирование
5.2. Особенности процесса послойного формирования топологии
5.3. Содержание и этапы расчетно-графической работы
Приложение А.
Основные свойства кремния
Приложение Б.
Варианты заданий на выполнение расчетно-графической работы
Приложение В.
Пример оформления расчетной части расчетно-графической работы
Приложение Г.
Примеры оформления топологических чертежей
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
Список дополнительной литературы
от Аноним

Хорошо и качественно

Пожалуйста, оставьте отзыв на товар.

Что бы оставить отзыв на товар Вам необходимо войти или зарегистрироваться
Все права защищены и охраняются законом. © 2006 - 2019 CENTRMAG
Рейтинг@Mail.ru