+7(800)707-21-74
Бесплатно по России

Введение в технологию проектирования и производства микроэлектромеханических тензопреобразователей с гетероструктурой "кремний на изоляторе" для авиационной и ракетно-космической техники: Учебное пособие

В наличии Цена за шт.

750

Количество
Купить

Акции и скидки Поделиться


  • Артикул:00-01006995
  • Автор: Соколов Л.В.
  • ISBN: 978-5-4316-0260-3
  • Обложка: Мягкая обложка
  • Издательство: МАИ (все книги издательства)
  • Город: Москва
  • Страниц: 84
  • Год: 2015
  • Вес: 81
Развернуть ▼

Материал, изложенный в учебном пособии, обеспечивает закрепление знаний по технологии проектирования и производства радиокомпонентов и приборов на основе кремния, в частности микроэлектромеханических (МЭМС) измерительных тензорезистивных преобразователей на основе гетероструктуры “кремний на изоляторе” (КНИ). Помимо сведений, известных из различных источников научно-технической информации, приводятся оригинальные, полученные автором, результаты.
Рассмотрены также некоторые вопросы из физики и кристаллографии полупроводниковых материалов, технологии формирования объёмных (3D) кремниевых резисторов и других кремниевых объёмных структур — то, что необходимо для выполнения расчетов электрических и конструктивных параметров ЗБ-резисторов с учетом электрофизических свойств кремния.
Учебное пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по соответствующим специальностям, а также для инженеров и аспирантов, участвующим в выполнении научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ по данной тематике.
ОГЛАВЛЕНИЕ
ОСНОВНЫЕ СОКРАЩЕНИЯ И ОБОЗНАЧЕНИЯ ПРЕДИСЛОВИЕ
1. ФИЗИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ РАЗРАБОТКИ И ПРОИЗВОДСТВА КРЕМНИЕВЫХ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ
1.1. Кремний как основной материал полупроводниковых преобразователей механических величин и микросистем
1.2. Пьезорезистивный эффект в кремнии
1.3. Энергетическая диаграмма монокристаллического кремния при наличии и отсутствии механических напряжений
1.4. Транспортные свойства кремния и влияние механических напряжений
1.5. Отрицательные воздействия пьезорезистивного эффекта и их минимизация
2. МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ КАК МАТЕРИАЛ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ГЕТЕРОСТРУКТУР “КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ”
2.1. Кристаллы и индексы Миллера
2.2. Основные требования к полупроводниковым материалам
2.3. Основные сведения о гетероструктуре “кремний на изоляторе”
2.4. Получение кремния полупроводниковой чистоты
3. ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ НА КРЕМНИИ
3.1. Объемные полупроводниковые резисторы
3.2. Особенности технологии изготовления интегрального объёмного резистора на основе гетероструктуры “кремний на изоляторе”
3.3. Технология травления кремния
3.4. Классификация новых способов прецизионного микропрофилирования кремния
4. ПРОЕКТИРОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНОГО КНИ-ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ С МОНОЛИТНОЙ ТЕНЗОРАМКОЙ
4.1. Объект разработки
4.2. Метод расчета конструктивных и электрофизических параметров КНИ-тензопреобразователя
5. РАЗРАБОТКА ТОПОЛОГИИ ИНТЕГРАЛЬНОГО КНИ-ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ С МОНОЛИТНОЙ ТЕНЗОРАМКОЙ
5.1. Технические требования на проектирование
5.2. Особенности процесса послойного формирования топологии
5.3. Содержание и этапы расчетно-графической работы
Приложение А.
Основные свойства кремния
Приложение Б.
Варианты заданий на выполнение расчетно-графической работы
Приложение В.
Пример оформления расчетной части расчетно-графической работы
Приложение Г.
Примеры оформления топологических чертежей
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
Список дополнительной литературы

Оставьте отзыв о товаре
×

Журналы и бланки

БухгалтерияОхрана труда и техника безопасностиМЧСКадровая работа: Журналы, бланки, формыЖурналы, бланки, формы документов для органов прокуратуры и суда, минюста, пенитенциарной системыЖурналы, бланки, формы документов МВД РФКонструкторская, научно-техническая документацияЛесное хозяйствоПромышленностьГостиницы, общежития, хостелыСвязьЖурналы и бланки по экологииЖурналы и бланки, используемые в торговле, бытовом обслуживанииЖурналы по санитарии, проверкам СЭСЛифтыКомплекты журналовНефтебазыБассейныГазовое хозяйство, газораспределительные системы, ГАЗПРОМЖКХЭксплуатация зданий и сооруженийЖурналы и бланки для нотариусов, юристов, адвокатовЖурналы и бланки для организаций пищевого производства, общепита и пищевых блоковЖурналы и бланки для организаций, занимающихся охраной объектов и частных лицЖурналы и бланки для ФТС РФ (таможни)Журналы для образовательных учрежденийЖурналы и бланки для армии, вооруженных силБанкиГеодезия, геологияГрузоподъемные механизмыДокументы, относящиеся к нескольким отраслямНефтепромысел, нефтепроводыДелопроизводствоЖурналы для медицинских учрежденийАЗС и АЗГСЭлектроустановкиТепловые энергоустановки, котельныеЭнергетикаШахты, рудники, метрополитены, подземные сооруженияТуризмДрагметаллыУчреждения культуры, библиотеки, музеиПсихологияПроверки и контроль госорганами, контролирующими организациямиРаботы с повышенной опасностьюПожарная безопасностьОбложки для журналов и удостоверенийАптекиТранспортРегулирование алкогольного рынкаАвтодороги, дорожное хозяйствоСамокопирующиеся бланкиСельское хозяйство, ветеринарияСкладСнегоплавильные пунктыСтройка, строительствоМетрологияКанатные дороги, фуникулерыКладбищаАрхивыАттракционыЖурналы для парикмахерских, салонов красоты, маникюрных, педикюрных кабинетов

Охрана труда

Удостоверения, Свидетельства

Зачетные книжки, студенческие билетыУдостоверения рабочих различных строительных специальностей

Членские книжки

ГК, ГСК, членские книжки, пропуска и пр.Садоводческие книжки, членские книжки СНТ

Печати и штампы

Оснастки, самонаборные штампыШтампы по техническому контролю, учету и хранениюПечать фирмы (организации, компании, подразделения, отдела)Печати и штампы для бухгалтерии и делопроизводстваПечати и штампы для водителейМедицинские печати и штампы

Книги

Нормативные правовые актыОбщественные и гуманитарные наукиРелигия. Оккультизм. ЭзотерикаОхрана труда, обеспечение безопасностиСанПины, СП, МУ, МР, ГНПодарочные книгиПутешествия. Отдых. Хобби. СпортНаука. Техника. МедицинаКосмосРостехнадзорДругоеИскусство. Культура. ФилологияКниги издательства "Комсомольская правда"Книги в электронном видеКомпьютеры и интернетБукинистическая литератураСНиП, СП, СО,СТО, РД, НП, ПБ, МДК, МДС, ВСНГОСТы, ОСТыЭнциклопедии, справочники, словариДомашний кругДетская литератураУчебный годСборники рецептур блюд для предприятий общественного питанияЭкономическая литератураХудожественная литература

Знаки безопасности, таблички, стенды

Вспомогательные знаки, таблички-наклейкиЗапрещающие знакиЗнаки для инвалидовЗнаки пожарной безопасностиЗнаки электробезопасностиИнформационные знаки для строительных площадокМедицинские и санитарные знакиПредписывающие знакиПредупреждающие знакиСтендыЗнаки для уборки и сбора мусораУказательные знакиЭвакуационные знакиЮмористические знакиЗнаки на автомобильНаклейки

Диски

Плакаты

Металлические изделия (металлическая мебель, конструкции, навесы)

Металлическая мебельМеталлические изделия для дачи и дома

Подарки нашим покупателям

Портреты знаменитых людей

Сувениры

Кружки для термопереносаБрелокиГудки и Рожки охотничьиСувениры, подарки для мужчинПредметы интерьераЗажигалкиПоддарочные наборы игрБизнес сувениры, корпоративные подаркиГимн России. Эксклюзивное графическое оформление в багетном обрамлении

Товары для дома и офиса

Каски, защитные очки, маскиПланы эвакуацииСамоспасателиИндикаторы стерилизацииГрамоты и благодарностиСредства дезинфекцииФитолампы и прожекторыОгнетушителиКанцелярские товарыКухонные принадлежностиХозяйственные товарыЭлектроудлинители, тройники, катушкиКартонные коробкиЭлектроустановочные изделия

Товары для развития, игрушки

Бумажные модели

Юнармия

Погоны министерств и ведомств

Товары для здоровья, БАДы

Аюрведические товарыСредства гигиены, косметика из минералов Мертвого моря
;