Введение в технологию проектирования и производства микроэлектромеханических тензопреобразователей с гетероструктурой "кремний на изоляторе" для авиационной и ракетно-космической техники

В наличии Цена за шт.

750

Количество
Купить

Акции и скидки Поделиться


  • Артикул:00-01006995
  • Автор: Соколов Л.В.
  • ISBN: 978-5-4316-0260-3
  • Тираж: 100 экз.
  • Обложка: Мягкий переплет
  • Издательство: МАИ (все книги издательства)
  • Город: Москва
  • Страниц: 84
  • Формат: 60х84 1/16
  • Год: 2015
  • Вес: 98 г
  • Серия: Учебное пособие для вузов (все книги серии)
Развернуть ▼

Материал, изложенный в учебном пособии, обеспечивает закрепление знаний по технологии проектирования и производства радиокомпонентов и приборов на основе кремния, в частности микроэлектромеханических (МЭМС) измерительных тензорезистивных преобразователей на основе гетероструктуры “кремний на изоляторе” (КНИ). Помимо сведений, известных из различных источников научно-технической информации, приводятся оригинальные, полученные автором, результаты.
Рассмотрены также некоторые вопросы из физики и кристаллографии полупроводниковых материалов, технологии формирования объёмных (3D) кремниевых резисторов и других кремниевых объёмных структур — то, что необходимо для выполнения расчетов электрических и конструктивных параметров ЗБ-резисторов с учетом электрофизических свойств кремния.
Учебное пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по соответствующим специальностям, а также для инженеров и аспирантов, участвующим в выполнении научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ по данной тематике.

Оглавление
Основные сокращения и обозначения
Предисловие
1. Физико-технологические основы разработки и производства кремниевых микроэлектромеханических тензопреобразователей
1.1. Кремний как основной материал полупроводниковых преобразователей механических величин и микросистем
1.2. Пьезорезистивный эффект в кремнии
1.3. Энергетическая диаграмма монокристаллического кремния при наличии и отсутствии механических напряжений
1.4. Транспортные свойства кремния и влияние механических напряжений
1.5. Отрицательные воздействия пьезорезистивного эффекта и их минимизация
2. Монокристаллический кремний как материал интегральных полупроводниковых приборов и гетероструктур “кремний на изоляторе”
2.1. Кристаллы и индексы Миллера
2.2. Основные требования к полупроводниковым материалам
2.3. Основные сведения о гетероструктуре “кремний на изоляторе”
2.4. Получение кремния полупроводниковой чистоты
3. Планарная технология на кремнии
3.1. Объемные полупроводниковые резисторы
3.2. Особенности технологии изготовления интегрального объёмного резистора на основе гетероструктуры “кремний на изоляторе”
3.3. Технология травления кремния
3.4. Классификация новых способов прецизионного микропрофилирования кремния
4. Проектирование интегрального КНИ-тензопреобразователя с монолитной тензорамкой
4.1. Объект разработки
4.2. Метод расчета конструктивных и электрофизических параметров КНИ-тензопреобразователя
5. Разработка топологии интегрального КНИ-тензопреобразователя с монолитной тензорамкой
5.1. Технические требования на проектирование
5.2. Особенности процесса послойного формирования топологии
5.3. Содержание и этапы расчетно-графической работы
Приложение А. Основные свойства кремния
Приложение Б. Варианты заданий на выполнение расчетно-графической работы
Приложение В. Пример оформления расчетной части расчетно-графической работы
Приложение Г. Примеры оформления топологических чертежей
Библиографический список
Список дополнительной литературы


Оставьте отзыв о товаре
×

Авиационные и военные линейки

Диски

Журналы и бланки

Автодороги, дорожное хозяйствоАЗС и АЗГСАптекиАрхивыАттракционыБанкиБассейныБухгалтерияГазовое хозяйство, газораспределительные системы, ГАЗПРОМГеодезия, геологияГостиницы, общежития, хостелыГрузоподъемные механизмыДелопроизводствоДокументы, относящиеся к нескольким отраслямДрагметаллыЖКХЖурналы для медицинских учрежденийЖурналы для образовательных учрежденийЖурналы для парикмахерских, салонов красоты, маникюрных, педикюрных кабинетовЖурналы и бланки для армии, вооруженных силЖурналы и бланки для нотариусов, юристов, адвокатовЖурналы и бланки для организаций пищевого производства, общепита и пищевых блоковЖурналы и бланки для организаций, занимающихся охраной объектов и частных лицЖурналы и бланки для ФТС РФ (таможни)Журналы и бланки по экологииЖурналы и бланки, используемые в торговле, бытовом обслуживанииЖурналы по санитарии, проверкам СЭСЖурналы, бланки, формы документов для органов прокуратуры и суда, минюста, пенитенциарной системыЖурналы, бланки, формы документов МВД РФ, РосгвардииКадровая работа: Журналы, бланки, формыКанатные дороги, фуникулерыКладбищаКомплекты документов и журналовКонструкторская, научно-техническая документацияЛесное хозяйствоЛифтыМетрологияМЧСНефтебазыНефтепромысел, нефтепроводыОбложки для журналов и удостоверенийОхрана труда и техника безопасностиПожарная безопасностьПроверки и контроль госорганами, контролирующими организациямиПромышленностьПсихологияРаботы с повышенной опасностьюРегулирование алкогольного рынкаСамокопирующиеся бланкиСвязьСельское хозяйство, ветеринарияСкладСнегоплавильные пунктыСтройка, строительствоТепловые энергоустановки, котельныеТранспортТуризмУчреждения культуры, библиотеки, музеиШахты, рудники, метрополитены, подземные сооруженияЭксплуатация зданий и сооруженийЭлектроустановкиЭнергетика

Знаки безопасности, таблички, стенды

Вспомогательные знаки, таблички-наклейкиЗапрещающие знакиЗнаки для инвалидовЗнаки для уборки и сбора мусораЗнаки на автомобильЗнаки пожарной безопасностиЗнаки электробезопасностиИнформационные знаки для строительных площадокМедицинские и санитарные знакиНаклейкиПредписывающие знакиПредупреждающие знакиСтендыУказательные знакиЭвакуационные знакиЮмористические знаки

Книги

Букинистическая литератураГОСТы, ОСТыДетская литератураДомашний кругДругоеИскусство. Культура. ФилологияКниги в электронном видеКниги издательства "Комсомольская правда"Компьютеры и интернетКосмосНаука. Техника. МедицинаНормативные правовые актыОбщественные и гуманитарные наукиОхрана труда, обеспечение безопасностиПодарочные книгиПутешествия. Отдых. Хобби. СпортРелигия. Оккультизм. ЭзотерикаРостехнадзорСанПины, СП, МУ, МР, ГНСборники рецептур блюд для предприятий общественного питанияСНиП, СП, СО,СТО, РД, НП, ПБ, МДК, МДС, ВСНУчебный годХудожественная литератураЭкономическая литератураЭнциклопедии, справочники, словари

Ленты с тиснением

Маркировочная продукция

Маркировка трубопровода "Вода"Маркировка трубопровода "Воздух"Маркировка трубопровода "Газ"Маркировка трубопровода "Пар"

Материалы для типографии (мини-типографии)

Металлические изделия (металлическая мебель, конструкции, навесы)

Металлическая мебельМеталлические изделия для дачи и дома

Охрана труда

Печати и штампы

Медицинские печати и штампыОснастки, самонаборные штампыПечати и штампы для бухгалтерии и делопроизводстваПечати и штампы для водителейПечать фирмы (организации, компании, подразделения, отдела)Штампы по техническому контролю, учету и хранению

Плакаты

Погоны министерств и ведомств

Подарки нашим покупателям

Портреты знаменитых людей

Сувениры

Бизнес сувениры, корпоративные подаркиБрелкиГимн России. Эксклюзивное графическое оформление в багетном обрамленииГудки и Рожки охотничьиЗажигалкиКружки для термопереносаПодарочные наборы игрПредметы интерьераСувениры, подарки для мужчин

Товары для дома и офиса

Грамоты и благодарностиИндикаторы стерилизацииКанцелярские товарыКаски, защитные очки, маскиКухонные принадлежностиОгнетушителиПланы эвакуацииСамоспасателиСредства дезинфекцииФитолампы и прожекторыХозяйственные товарыЭлектроудлинители, тройники, катушкиЭлектроустановочные изделия

Товары для здоровья, БАДы

Аюрведические товарыСредства гигиены, косметика из минералов Мертвого моря

Товары для развития, игрушки

Бумажные модели

Удостоверения, Свидетельства

Зачетные книжки, студенческие билетыУдостоверения для спортивных секцийУдостоверения рабочих различных специальностей

Упаковка, упаковочные материалы

Членские книжки

ГК, ГСК, членские книжки, пропуска и пр.Садоводческие книжки, членские книжки СНТ

Юнармия

;