+7(800)707-21-74
Бесплатно по России

Базовые технологии микро- и наноэлектроники

В наличии Цена за шт.

650

Количество
Купить

Акции и скидки Поделиться


  • Артикул:00-01022101
  • Автор: Воротынцев В.М., Скупов В.Д.
  • ISBN: 978-5-392-25297-8
  • Обложка: Мягкая обложка
  • Издательство: Проспект (все книги издательства)
  • Серия: Учебное пособие для вузов (все книги серии)
  • Город: Москва
  • Страниц: 520
  • Формат: 60х90 1/16
  • Год: 2017
Развернуть ▼

Учебное пособие разработано в соответствии с государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированных специалистов 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника». Впервые технологии микро- и наноэлектроники рассмотрены неразрывно с технологиями высокочистых веществ и материалов в основополагающем ключе «высокая чистота материала - высокое качество продукции». Рассмотрены основные процессы получения высокочистых веществ и материалов на их основе, процессы и технологии получения эпитаксиальных структур кремния, арсенида галлия и др., технологии их обработки при переходе к компонентам электронной техники.
Пособие может быть использовано студентами всех форм обучения, в том числе и по смежным специальностям, как для самостоятельной работы, так и выполнения курсовых проектов, а также в качестве конспекта лекций по курсу «Технология материалов электронной техники». Содержит перечень контрольных вопросов для оценки усвоения студентами материала.

Оглавление
Глава 1 Физико-химические основы технологических процессов получения высокочистых веществ и материалов для электронной техники
1.1. Влияние степени чистоты на свойства веществ. Классификация веществ по степени их чистоты
1.2. Классификация исходных веществ и материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники
1.3. Химические методы глубокой очистки полупроводниковых материалов
1.4. Электрохимические методы синтеза летучих неорганических гидридов и фторидов для микроэлектроники
1.5. Дистилляционные методы глубокой очистки летучих веществ
1.6. Кристаллизационные методы глубокой очистки летучих веществ
1.7. Базовые технологические схемы получения высокочистых полупроводниковых материалов
1.8. Технология получения монокристаллов полупроводникового кремния
1.9. Технология получения германия
1.10. Технология получения аммиака и структур GaN для светодиодов
1.11. Технология получения исходных материалов для волоконных светодиодов
Контрольные вопросы
Список рекомендуемой литературы
Глава 2 Технология абразивной химической обработки полупроводниковых подложек
2.1. Классификация полупроводниковых материалов
2.2. Основные требования к полупроводниковым материалам и подложкам
2.4. Технологические процессы получения полупроводников в микроэлектронике
2.5. Химическое травление и полирование полупроводников
Приложение
Контрольные вопросы
Список рекомендуемой литературы
Глава 3 Базовые технологии формирования приборных структур
3.1. Методы газофазной эпитаксии
3.2. Особенности метода жидкофазной эпитаксии кремния
3.3. Молекулярно-лучевая эпитаксия - метод изготовления полупроводниковых структур
3.4. Осаждение диэлектрических слоев
3.5. Основы литографических процессов
3.6. Диффузионное легирование полупроводников
3.7. Ионно-лучевое легирование полупроводников
3.8. Осаждение тонких пленок
3.9. Формирование структур со слоями пористого кремния
3.10. Специальные радиационно-термические обработки в технологии изготовления электронных структур
Глава 4 Структуры кремний на диэлектрике и технологические методы их изготовления
4.1. Структуры кремний на сапфире (КНС)
4.2. Структуры кремний на изоляторе (КНИ)
Контрольные вопросы
Список рекомендуемой литературы
Глава 5 Физические и технологические основы наноэлектроники
5.1. Основные положения квантового описания низкоразмерных твердотельных композиций
5.2. Особенности технологий формирования низкоразмерных твердотельных композиций
Контрольные вопросы
Список рекомендуемой литературы
Глава 6 Структурные дефекты в материалах компонентах приборных композиций
6.1. Классификация дефектов в кристаллах
6.2. Термодинамически равновесные собственные точечные дефекты в кристаллах
6.3. Комплексы точечных дефектов
6.4. Теоретические и экспериментальные оценки энергии образования СТД
6.5. Кинетика восстановления равновесной концентрации СТД
6.6. Дислокационная структура кристаллов
6.7. Микродефекты в бездислокационных кристаллах
6.8. Дефектообразование в приборных структурах при проведении базовых технологических операций
6.9. Геттерирование фоновых примесей и протяженных дефектов
Контрольные вопросы
Список рекомендуемой литературы


Оставьте отзыв о товаре
×

Журналы и бланки

БухгалтерияОхрана труда и техника безопасностиМЧСКадровая работа: Журналы, бланки, формыЖурналы, бланки, формы документов для органов прокуратуры и суда, минюста, пенитенциарной системыЖурналы, бланки, формы документов МВД РФКонструкторская, научно-техническая документацияЛесное хозяйствоПромышленностьГостиницы, общежития, хостелыСвязьЖурналы и бланки по экологииЖурналы и бланки, используемые в торговле, бытовом обслуживанииЖурналы по санитарии, проверкам СЭСЛифтыКомплекты документов и журналовНефтебазыБассейныГазовое хозяйство, газораспределительные системы, ГАЗПРОМЖКХЭксплуатация зданий и сооруженийЖурналы и бланки для нотариусов, юристов, адвокатовЖурналы и бланки для организаций пищевого производства, общепита и пищевых блоковЖурналы и бланки для организаций, занимающихся охраной объектов и частных лицЖурналы и бланки для ФТС РФ (таможни)Журналы для образовательных учрежденийЖурналы и бланки для армии, вооруженных силБанкиГеодезия, геологияГрузоподъемные механизмыДокументы, относящиеся к нескольким отраслямНефтепромысел, нефтепроводыДелопроизводствоЖурналы для медицинских учрежденийАЗС и АЗГСЭлектроустановкиТепловые энергоустановки, котельныеЭнергетикаШахты, рудники, метрополитены, подземные сооруженияТуризмДрагметаллыУчреждения культуры, библиотеки, музеиПсихологияПроверки и контроль госорганами, контролирующими организациямиРаботы с повышенной опасностьюПожарная безопасностьОбложки для журналов и удостоверенийАптекиТранспортРегулирование алкогольного рынкаАвтодороги, дорожное хозяйствоСамокопирующиеся бланкиСельское хозяйство, ветеринарияСкладСнегоплавильные пунктыСтройка, строительствоМетрологияКанатные дороги, фуникулерыКладбищаАрхивыАттракционыЖурналы для парикмахерских, салонов красоты, маникюрных, педикюрных кабинетов

Охрана труда

Удостоверения, Свидетельства

Зачетные книжки, студенческие билетыУдостоверения рабочих различных строительных специальностей

Членские книжки

ГК, ГСК, членские книжки, пропуска и пр.Садоводческие книжки, членские книжки СНТ

Печати и штампы

Оснастки, самонаборные штампыШтампы по техническому контролю, учету и хранениюПечать фирмы (организации, компании, подразделения, отдела)Печати и штампы для бухгалтерии и делопроизводстваПечати и штампы для водителейМедицинские печати и штампы

Книги

Нормативные правовые актыОбщественные и гуманитарные наукиРелигия. Оккультизм. ЭзотерикаОхрана труда, обеспечение безопасностиСанПины, СП, МУ, МР, ГНПодарочные книгиПутешествия. Отдых. Хобби. СпортНаука. Техника. МедицинаКосмосРостехнадзорДругоеИскусство. Культура. ФилологияКниги издательства "Комсомольская правда"Книги в электронном видеКомпьютеры и интернетБукинистическая литератураСНиП, СП, СО,СТО, РД, НП, ПБ, МДК, МДС, ВСНГОСТы, ОСТыЭнциклопедии, справочники, словариДомашний кругДетская литератураУчебный годСборники рецептур блюд для предприятий общественного питанияЭкономическая литератураХудожественная литература

Знаки безопасности, таблички, стенды

Вспомогательные знаки, таблички-наклейкиЗапрещающие знакиЗнаки для инвалидовЗнаки пожарной безопасностиЗнаки электробезопасностиИнформационные знаки для строительных площадокМедицинские и санитарные знакиПредписывающие знакиПредупреждающие знакиСтендыЗнаки для уборки и сбора мусораУказательные знакиЭвакуационные знакиЮмористические знакиЗнаки на автомобильНаклейки

Диски

Плакаты

Металлические изделия (металлическая мебель, конструкции, навесы)

Металлическая мебельМеталлические изделия для дачи и дома

Подарки нашим покупателям

Портреты знаменитых людей

Сувениры

Кружки для термопереносаБрелокиГудки и Рожки охотничьиСувениры, подарки для мужчинПредметы интерьераЗажигалкиПодарочные наборы игрБизнес сувениры, корпоративные подаркиГимн России. Эксклюзивное графическое оформление в багетном обрамлении

Товары для дома и офиса

Каски, защитные очки, маскиПланы эвакуацииСамоспасателиИндикаторы стерилизацииГрамоты и благодарностиСредства дезинфекцииФитолампы и прожекторыОгнетушителиКанцелярские товарыКухонные принадлежностиХозяйственные товарыЭлектроудлинители, тройники, катушкиКартонные коробкиЭлектроустановочные изделия

Товары для развития, игрушки

Бумажные модели

Юнармия

Погоны министерств и ведомств

Товары для здоровья, БАДы

Аюрведические товарыСредства гигиены, косметика из минералов Мертвого моря
;